全球半導體產能緊張持續一年了，芯片擴產需要包括光刻機在內的重要設備，結果前幾天全球最大光刻機巨頭ASML在德國的工廠遭遇火災，官方表示還要幾天才能評估損失，但是現在可以確定主要是EUV光刻機生產會受影響。

ASML旗下的這家公司位于德國柏林，前身是Berliner Glas，ASML公司2020年才收購了這家公司，它們的營收額并不高，但生產的是光刻機中的一種重要部件，可以用于光刻機及晶圓之間的接口，需要有納米級別的操作精度，可以說是小而精了。

根據ASML的消息，雖然評估是否影響今年的光刻機交貨還有點早，但這次事件影響的主要是EUV光刻機生產，DUV光刻機不受影響。

EUV光刻機是生產7nm以下工藝的關鍵設備，ASML是全球唯一的EUV光刻機供應商，每臺售價1億歐元，將近10億人民幣，去年交付了35臺EUV光刻機，今年計劃交付55臺EUV光刻機，三星、臺積電及Intel是主要的客戶。