日前國產芯片廠商格科微宣布成功實現整套ASML光刻機中的關鍵設備——先進ArF光刻機的搬入。

據格科微表示，目前，格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收，相關廠務系統配備進展順利，共有六十一臺設備已經搬入。未來，外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關設備仍會陸續搬入。

格科微表示，ArF光刻機的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目”建設的關鍵節點。

依托自有工廠即格科半導體的先進制程，格科微將進一步加快先進CIS工藝和高階專利像素的研發速度，并在自有工廠實現批量生產驗證，從而極大縮短高端產品從研發到大量供應市場的周期。

據了解，該項目總投資約155億元，建設一座12英寸、月產6萬片的芯片廠，建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產線，預計年底達到量產狀態。

今年2月，格科微披露2021年度業績快報。報告期內，公司實現營收70億元，同比增長8.44%；實現歸母凈利潤12.59億元，同比增長62.78%；扣非凈利潤12.03億元，同比增長57.09%。