據(jù)Business Korea于4月1日的報導(dǎo)顯示，因當(dāng)比利時政府的嚴(yán)格的環(huán)保政策影響，消費(fèi)品和工業(yè)用品制造大廠3M位于比利時佛蘭德斯的 Zwijndrecht（茲韋恩德雷赫特）工廠被“無限期關(guān)閉”。

由于該廠所生產(chǎn)的半導(dǎo)體冷卻劑（電子級氟化液）占據(jù)了全球80%的產(chǎn)能，此舉或?qū)?dǎo)致本就緊張的全球半導(dǎo)體制造產(chǎn)能再遭沖擊。

3M半導(dǎo)體冷卻劑工廠被關(guān)閉，全球晶圓制造或受影響

報導(dǎo)稱，3M比利時工廠的關(guān)閉與比利時政府實(shí)施的與半導(dǎo)體冷卻劑生產(chǎn)所排放的全氟/多氟烷基物質(zhì)（PFAS）限制規(guī)定有關(guān)。

據(jù)悉，3M比利時半導(dǎo)體冷卻劑工廠已于3月8日被通知關(guān)閉，3M在3月18日向客戶發(fā)出了正式通知。

據(jù)了解，半導(dǎo)體冷卻劑是半導(dǎo)體設(shè)備及相關(guān)制程當(dāng)中所需的關(guān)鍵材料。目前，3M在全球半導(dǎo)體冷卻劑市場的占有率為90%，而其位于比利時的工廠所生產(chǎn)的半導(dǎo)體冷卻劑占據(jù)了占全球總產(chǎn)量的80%。

由于3M在全球半導(dǎo)體冷卻劑市場的壟斷地位，其客戶包括了臺積電、三星、SK海力士和英特爾等眾多大廠，目前還無法確定3M比利時半導(dǎo)體冷卻劑工廠的無限期關(guān)閉對于這些重要客戶會造成多大的影響。

據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，目前3M相關(guān)客戶的半導(dǎo)體冷卻劑的庫存可承受一到三個月，除非在這段時間內(nèi)解決這個問題，否則全球的晶圓制造業(yè)可能將面臨巨大的沖擊。

什么是半導(dǎo)體冷卻劑？

半導(dǎo)體冷卻劑實(shí)際上是應(yīng)用于電子行業(yè)的一種氟化液，即電子級氟化液，具有無色、無味、低粘度、不導(dǎo)電、不易燃、無腐蝕性、高安全性，擁有非常穩(wěn)定的物理和化學(xué)性質(zhì)。可以被用作清洗劑、干燥劑、溶劑和冷卻劑。

由于電子級氟化液所具有的更高的絕緣性等穩(wěn)定的特性和清洗冷卻的效果，它可以長時間使用而不會對電子設(shè)備及元器件造成任何損壞，并且在運(yùn)行過程中不會污染空氣，是一種理想的散熱材料。可以被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的冷卻、數(shù)據(jù)中心的浸入式冷卻，航空電子設(shè)備的噴霧冷卻等。

在半導(dǎo)體制造過程中，為了在更小的尺寸下獲得精確的加工能力，不僅在芯片制造的一些環(huán)節(jié)需要精確控制溫度。同時，由于半導(dǎo)體產(chǎn)線是24小時長期不間斷運(yùn)轉(zhuǎn)，相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備也需要通過電子級氟化液來進(jìn)行恒溫冷卻，以保障穩(wěn)定運(yùn)行。

以3M公司的FC-770電子級氟化液為例，其主要被用于半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備、離子注入設(shè)備，化學(xué)氣相沉積(CVD)的恒溫冷卻。

FC-770的傾點(diǎn)也非常低（傾點(diǎn)的物理意義是反映油品低溫流動性的好壞的參數(shù)之一，傾點(diǎn)越低，油品的低溫流動性越好），所以可以用于冷熱沖擊試驗(yàn)及其他各種測試。該產(chǎn)品價格也非常高昂，在阿里巴巴上的報價高達(dá)16800元/20kg。

△3M FC-7200 電子氟化液的潛在生物累積性說明

不過，氟化液及其生產(chǎn)排放的全氟/多氟烷基物質(zhì)對于生物體來說，具有潛在的生物累積性，在人體內(nèi)累積久后可能導(dǎo)致激素紊亂。因此，美國、歐盟都在收緊法規(guī)，盡量減少排放。

Zwijndrecht工廠污染問題由來已久，去年10月曾部分停產(chǎn)

據(jù)外媒報道，早在1971年，3M公司就開始在比利時的Zwijndrecht生產(chǎn)一種叫“全氟辛烷磺酸”（PFOS，屬于PFAS物質(zhì)）的化學(xué)產(chǎn)品。

據(jù)悉，PFOS在自然界中難以分解，會持續(xù)在環(huán)境及生物鏈當(dāng)中累積，對免疫系統(tǒng)會產(chǎn)生不利影響，也會破壞甲狀腺功能；在懷孕期間，還會導(dǎo)致許多胎兒發(fā)育的問題。

3M公司 2008 年環(huán)境許可證中列出的 PFOS的濃度的最大值為每升 30 微克。但佛蘭德斯政府相關(guān)部門定期測量的3M工廠的廢水中PFOS的濃度則超過了500微克，是最高標(biāo)準(zhǔn)的16倍！

據(jù)稱，在 Zwijndrecht 工廠附近，污染超標(biāo)程度比正常數(shù)值要高26倍，小鼠記錄到的PFOS 水平達(dá)到了有史以來全世界在活生物體中測得的最高水平。

為了解決污染問題，2018年11月，經(jīng)佛蘭德斯政府批準(zhǔn)，Lantis（管理安特衛(wèi)普周邊交通項(xiàng)目的公共機(jī)構(gòu)）與 3M 簽署協(xié)議規(guī)定：政府將投入 6300 萬歐元來清理受污染最嚴(yán)重的土地，而3M 必須保證建造價值 75000 歐元的安全護(hù)堤，政府承諾不追究 3M 對 PFOS 污染的責(zé)任。

不過，這一污染問題直到2021年才經(jīng)由媒體廣泛報道公之于眾，成為了當(dāng)?shù)氐囊淮蟪舐劇?/p>

在輿論的壓力之下，2021年10月29日，比利時佛蘭德斯環(huán)境監(jiān)管機(jī)關(guān)再度要求3M比利時Zwijndrecht工廠執(zhí)行新的安全措施，此舉也直接導(dǎo)致了該工廠的部分生產(chǎn)業(yè)務(wù)立即暫停。隨后，3M公司提出暫停實(shí)施新安全措施的申請，但是于2021年11月15日拒絕。

隨后，3M公司向客戶發(fā)出通知，稱受比利時政府的命令影響，預(yù)計相關(guān)產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)將被中斷。“無論3M訂單系統(tǒng)是否自動確認(rèn)接受訂單，未來上述產(chǎn)品的訂單都可能無法發(fā)貨。”

3M宣布追加1.5億歐元投資，以減少PFAS排放

根據(jù)3M官網(wǎng)的新聞稿顯示，為了解決比利時Zwijndrecht工廠的全氟和多氟烷基物質(zhì)（PFAS）的傳統(tǒng)制造和排放物處置問題，3M公司已于3月30日宣布，對該工廠追加1.5億歐元的投資，以進(jìn)一步減少PFAS排放、繼續(xù)運(yùn)行非 PFAS相關(guān)制造，以及重新啟動先前閑置的PFAS相關(guān)制造處理流程。

據(jù)介紹，3M除了正在進(jìn)一步減少其運(yùn)營中的 PFAS 排放，還設(shè)計并啟動了一個廢水處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)有助于顯著減少其 Zwijndrecht 工廠的 PFAS 排放，同時3M還將繼續(xù)與相關(guān)當(dāng)局合作解決影響該設(shè)施運(yùn)營的廢水排放許可證修改問題。

3M董事長兼首席執(zhí)行官邁克·羅曼（Mike Roman）表示：“我們希望與佛蘭德斯當(dāng)局建立建設(shè)性的合作關(guān)系，以解決所有利益相關(guān)者的擔(dān)憂。今天是向我們在佛蘭德斯地區(qū)履行更廣泛承諾的又一重要步驟。”

“這些投資有助于加強(qiáng)我們的環(huán)境管理，并為 3M 在比利時的業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定。我們將繼續(xù)在比利時推進(jìn)和運(yùn)營非 PFAS 相關(guān)制造，同時努力讓更多支持 PFAS 的制造流程啟動并運(yùn)行符合當(dāng)?shù)氐陌踩胧?rdquo;邁克·羅曼補(bǔ)充稱：

“除了利用我們的全球制造足跡為我們的客戶提供服務(wù)外，我們還在 Zwijndrecht 實(shí)施了新的控制措施，包括控制空氣排放以及捕獲、處置和處理水中 PFAS 的技術(shù)。這些投資以及適當(dāng)?shù)呐c有關(guān)當(dāng)局合作，幫助我們將閑置的流程重新上線，使歐洲能夠?yàn)槲覀冊谑澜绺鞯氐目蛻羯a(chǎn)基本產(chǎn)品。”

不過，截至目前，3M的比利時工廠仍未恢復(fù)生產(chǎn)。